Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS)
XPS ist eine auf dem photoelektrischen Prozess basierende Methode zur Quantifizierung der chemischen Zusammensetzung von Oberflächen, der Bestimmung von Oxidationszuständen und der Analyse der chemischen Umgebung von Elementen.
Das Spektrometer (SPECS GmbH) ist sowohl mit einer Dualanode (Al/Mg) als auch mit monochromatischen Al/Ag-Quelle ausgestattet. In der Analysenkammer können Proben während der spektroskopischen Messungen geheizt oder gekühlt werden. Die Verwendung einer Elektronenkanone zur Ladungskompensation ermöglicht die Analyse von elektrisch nichtleitenden Proben mit hoher spektraler Auflösung.
Das Spektrometer ist zusätzlich mit einer UV-Quelle zur Messung von UPS-Spektren ausgestattet.
Um einen Kontakt von Proben nach chemischen Reaktionen mit der Atmosphäre zu vermeiden, können temperaturabhängige Reaktionen von Festkörperoberflächen mit unterschiedlichen Reaktionsgasen in einer Reaktionskammer, die an das XPS angebaut ist, durchgeführt werden. Nach einer Reaktion kann die Probe direkt unter Luftausschluss in die Analysenkammer überführt und gemessen werden.